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发明名称 Impf-Kristall für die Herstellung von Siliciumeinkristallen und Verfahren zur Herstellung von Siliciumeinkristallen
摘要
申请公布号 DE60209988(T2) 申请公布日期 2006.08.17
申请号 DE20026009988T 申请日期 2002.12.05
申请人 SILTRONIC AG 发明人 TANAKA, MASAHIRO;KISHIDA, YUTAKA;TAMAKI, TERUYUKI;KATO, HIDEO;TAKEBAYASHI, SEIKI
分类号 C30B15/00;C30B15/36;C30B29/06 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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