一种微型膜片式加速度传感器的本体及制造方法

摘要

本发明涉及一种微型膜片式加速度传感器的本体以及制备方法，该本体包括硅膜片和上盖、下盖，金电极和引线封装结构；其中在硅膜片上、下表面中心设置一圆形质量块；在硅膜片的周边有一凸起圆环，在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处设置两对一维或二维纳米材料；上盖或下盖的周边有一凸起圆环，并在上盖或下盖内的中心处设一凸起保护块，在膜片和纳米敏感元件上制作N对金电极和引线；膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起，并采用压焊工艺引出导线。本发明的制造工艺包括在离心力或电极电场诱导下，采用化学气相沉积工艺实现纳米材料在微结构上的定向、可控生长。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。

主权项

1.一种微型膜片式加速度传感器的本体，包括膜片，金电极和引线封装结构；其特征在于，还包括：上盖、下盖、位于膜片上的质量块，及在膜片上分布排列的一维或二维纳米材料；其中在所述的膜片上、下表面中心设一厚度为10μm-250μm，半径为50μm-6mm圆形质量块；在膜片的周边有一凸起圆环，宽度为：100μm-10mm，厚度为10μm-250μm；在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处分别设置两对或M对一维或二维纳米材料；所述的上盖或下盖与硅膜片直径大小相同，在其周边有一凸起圆环，其高度为10μm-500μm，宽度与膜片的凸起圆环相同，并在上盖和下盖内的中心处设一凸起保护块，该保护块高度为1μm-100μm，半径为50μm-6mm；在膜片和一维或二维纳米材料上制作N对金电极和引线；膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起，并采用压焊工艺引出导线。