涂布膜的干燥方法、涂布膜的形成方法及涂布膜形成装置

摘要

本发明涉及一种涂布膜的干燥方法、涂布膜的形成方法以及涂布膜形成装置。在构成向下吹风的净化室内，可将被涂布面以向下姿势保持的基板的被涂布面上形成的涂布膜均匀地干燥。涂布装置具有将基板保持在其被涂布面面朝下的姿势的保持机构，配置在由所述保持机构保持的所述基板的所述被涂布面下方的液槽，贮存在所述液槽中的涂布液在毛细管现象作用下被上升到所述被涂布面的同时液体与所述被涂布面接触的喷嘴，和通过将所述喷嘴在所述被涂布面上来回扫喷以将所述涂布液涂布到所述被涂布面上的扫喷机构，其特征在于，还具有局部干燥所述涂布膜的干燥机构，同时，所述干燥机构的结构为追随所述喷嘴的扫喷而在所述被涂布面下扫射。

主权项

1、一种涂布膜的干燥方法，在构成向下吹风的净化室内，将贮存在被涂布面以向下姿势保持着的基板的所述被涂布面下方的涂布液在毛细管现象作用下上升，上升的所述涂布液经喷嘴与所述被涂布面接触的状态下，通过该喷嘴在所述被涂布面上来回扫喷，以将所述涂布液涂布到所述被涂布面上而成涂布膜，其特征在于，在扫喷所述喷嘴之际，追随着该喷嘴地方式使局部干燥所述涂布膜的干燥装置扫射。