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发明名称 Micromechanical device and method of manufacturing a micromechanical device
摘要
申请公布号 EP1671924(A3) 申请公布日期 2006.08.16
申请号 EP20060110978 申请日期 2001.10.27
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FISCHER, FRANK;HEIN, PETER;GRAF, ECKHARD
分类号 B81C99/00;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;B81C3/00 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
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