| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung polykristalliner Halbleiter-blöcke |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69832846(T2) |
申请公布日期 |
2006.08.10 |
| 申请号 |
DE19986032846T |
申请日期 |
1998.06.19 |
| 申请人 |
SHARP K.K. |
发明人 |
YAMAZAKI, MOTOHARU;OKUNO, TETSUHIRO |
| 分类号 |
C30B11/00;C01B33/02;C01B33/037;C30B21/02;C30B28/06;C30B29/06;H01L21/208;H01L31/04 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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