发明名称 Chemical mechanical polisher being capable of detecting an end point in the polishing process
摘要
申请公布号 KR100611470(B1) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 KR20030053432 申请日期 2003.08.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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