| 发明名称 | 一种微波/射频微机械开关及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供的一种微波/射频微机械开关，它包括：锚位(1)，基底(2)，第一信号线(5)，悬臂梁(6)，接触金属层(7)，第二信号线(8)，其特征是它还包括外加磁场导线(9)、磁致伸缩层(10)；在基底(2)上锚位(1)、外加磁场导线(9)以及第一信号线(5)和第二信号线(8)平行排列；悬臂梁(6)的固定端在锚位(1)上，悬空部分位于外加磁场导线(9)以及第一信号线(5)和第二信号线(8)正上方；悬臂梁(6)上为磁致伸缩层(10)；接触金属层(7)位于悬臂梁(6)悬空部分的正下方。本发明的磁致伸缩型微波/射频微机械开关具有驱动电压低、响应时间短的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN1269168C | 申请公布日期 | 2006.08.09 |
| 申请号 | CN200310111073.X | 申请日期 | 2003.12.03 |
| 申请人 | 电子科技大学 | 发明人 | 张万里;蒋洪川;彭斌;张文旭;杨仕清;张金平 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01) | 主分类号 | H01H59/00(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种微波/射频微机械开关，它包括：锚位(1)，基底(2)，第一信号线(5)，悬臂梁(6)，接触金属层(7)，第二信号线(8)，其特征是它还包括外加磁场导线(9)、磁致伸缩层(10)；在基底(2)上锚位(1)、外加磁场导线(9)以及第一信号线(5)和第二信号线(8)平行排列；悬臂梁(6)的固定端在锚位(1)上，悬空部分位于外加磁场导线(9)以及第一信号线(5)和第二信号线(8)正上方；悬臂梁(6)上为磁致伸缩层(10)；接触金属层(7)位于悬臂梁(6)悬空部分的正下方。 | ||
| 地址 | 610054四川省成都市建设北路二段四号 | ||