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发明名称 WASHING APPARATUS, COATING, DEVELOPMENT APPARATUS AND THE WASHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20060089150(A) 申请公布日期 2006.08.08
申请号 KR20060010035 申请日期 2006.02.02
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MASAHIRO FUKUDA;TARO YAMAMOTO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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