| 发明名称 |
Interface for testing semiconductors |
| 摘要 |
A system that includes an imaging device for effectively positioning a probe for testing a semiconductor wafer.
|
| 申请公布号 |
US2006170441(A1) |
申请公布日期 |
2006.08.03 |
| 申请号 |
US20060335037 |
申请日期 |
2006.01.18 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
ANDREWS PETER;HESS DAVID;NEW ROBERT |
| 分类号 |
G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
