高过载三自由度加速度计

摘要

高过载三自由度加速度计，该加速度计包括四方体的基座，基座的X、Y、Z三个方向的表面上分别设置X轴、Y轴和Z轴加速度梁，X轴、Y轴和Z轴加速度梁上分别覆盖有盖板，加速度梁包括质量块，质量块通过梁与固支端连接，梁上靠近固支端处键合有SOI硅微固态压阻芯片，固支端与相应的基座固定，质量块与相应的盖板和基座之间有间隙，此间隙限制了质量块的活动范围，达到了高过载保护的作用。本发明采用悬臂梁式弹性元件和SOI硅微固态压阻芯片，解决了导弹、鱼雷、火箭等武器系统引信机构三自由度加速度高g值的测量和高过载保护的问题，该加速度计具有测量范围广、测量精度高、动态特性好、耐高温和高过载的特点。

主权项

1.高过载三自由度加速度计，其特征在于，该加速度计包括四方体的基座(2)，基座(2)的X、Y、Z三个方向的表面上分别设置X轴加速度梁(8)、Y轴加速度梁(7)和Z轴加速度梁(6)，所述X轴加速度梁(8)、Y轴加速度梁(7)和Z轴加速度梁(6)上分别覆盖X盖板(5)、Y盖板(4)和Z盖板(3)，所述X轴加速度梁(8)、Y轴加速度梁(7)和Z轴加速度梁(6)包括质量块(11)，质量块(11)通过悬臂梁(12)与固支端(13)连接，所述悬臂梁(12)上靠近固支端(13)处键合有SOI硅微固态压阻芯片(9)，固支端(13)与相应的基座(2)固定，所述质量块(11)与相应的盖板和基座(2)之间有间隙(14)。