由两种独立三自由度平台所组成之六自由度微/奈米定位平台

摘要

本创作系由两种独立三自由度平台所组成之六自由度微／奈米定位平台，机构包括两个独立的三自由度平台，平台作动是利用材料弹性变形原理，配合压电陶瓷致动器的驱动，使微／奈米定位平台可产生六自由度的微小运动；其机构的特色为两个独立不同的三自由度微／奈米定位平台组成，两平台分别为(1)平面式微／奈米定位平台为XYθZ三自由度；(2)六面体微／奈米定位平台为内θxθyZ三自由度。两种三自度微／奈米定位平台可独立分开单独作微细定位操控，也可以利用螺丝锁合的方式，将两种平台组合成一种六自由度微／奈米定位平台的精密调整机构。