| 发明名称 |
THERMAL PROCESSING SYSTEM WITH CROSS-FLOW LINER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL174518(D0) |
申请公布日期 |
2006.08.01 |
| 申请号 |
IL20060174518 |
申请日期 |
2006.03.23 |
| 申请人 |
AVIZA TECHNOLOGY, INC.;DU BOIS DALE R.;PORTER COLE;MOGAARD MARTIN;BAILEY JEFF |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C;C23C16/00;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;F27B;H01L21/00;H01L21/677 |
主分类号 |
C23C |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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