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发明名称
摘要
申请公布号 JP2006517730(A) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 JP20060500732 申请日期 2004.01.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/301;H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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