发明名称 Deposition apparatus for jig
摘要
申请公布号 KR200422564(Y1) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 KR20060012114U 申请日期 2006.05.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址