发明名称 压力感测器
摘要 压力感测器10,具有:能够填充液体或气体等流体16,在接触于该流体16的面至少有一部份是以超磁效伸缩元件所构成的超磁效伸缩构件18来形成的筒12;及,可对填充在该筒12内的流体16的压力变动导致的超磁效伸缩构件18的伸缩所造成的导磁率或剩余磁化量进行检测的检测手段,在可实现装置小型化的同时,于短时间就能够有高感度、高精度的压力检测。
申请公布号 TWI258577 申请公布日期 2006.07.21
申请号 TW093106997 申请日期 2004.03.16
申请人 TDK股份有限公司 发明人 森辉夫
分类号 G01L9/16;G01L17/00 主分类号 G01L9/16
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种压力感测器,其特征为具有:能够填充液体或 气体等流体,在接触于该流体的面至少有一部份是 以磁效伸缩元件所构成的磁效伸缩构件来形成的 筒;及,可对填充在该筒内的上述流体的压力变动 导致的上述磁效伸缩构件的伸缩所造成的导磁率 或剩余磁化量进行检测的检测手段。 2.如申请专利范围第1项所述之压力感测器,其中, 上述检测手段,是包括有可围住上述磁效伸缩构件 的拾波线圈,以形成为是将上述导磁率或剩余磁化 量的变化视为上述拾波线圈的电感变化来进行检 测。 3.如申请专利范围第1项所述之压力感测器,其中, 上述检测手段,是包括有霍尔元件及磁阻效果元件 当中的一方,以形成为是将上述导磁率或剩余磁化 量的变化视为上述霍尔元件及磁阻效果元件当中 一方的电动势变化来进行检测。 4.如申请专利范围第1项所述之压力感测器,其中, 上述筒的一部份是由大致为圆筒形状的上述磁效 伸缩构件所构成。 5.如申请专利范围第2项所述之压力感测器,其中, 上述筒的一部份是由大致为圆筒形状的上述磁效 伸缩构件所构成。 6.如申请专利范围第3项所述之压力感测器,其中, 上述筒的一部份是由大致为圆筒形状的上述磁效 伸缩构件所构成。 7.如申请专利范围第4项所述之压力感测器,其中, 是将上述磁效伸缩构件的轴方向一端侧为有底。 8.如申请专利范围第5项所述之压力感测器,其中, 是将上述磁效伸缩构件的轴方向一端侧为有底。 9.如申请专利范围第6项所述之压力感测器,其中, 是将上述磁效伸缩构件的轴方向一端侧为有底。 10.如申请专利范围第1项至第6项任一项所述之压 力感测器,其中,上述筒是由:上述大致为圆筒形状 的上述磁效伸缩构件;及,被配置成是覆盖着该磁 效伸缩构件轴方向两端开口部的大致为圆板状的 一对盖体所构成的同时,于该一对盖体至少有一方 是设有通道同将上述流体导入上述磁效伸缩构件 的内侧空间。 11.如申请专利范围第10项所述之压力感测器,其中, 是于上述筒的轴方向,设有被配置成是贯穿着上述 磁效伸缩构件的内侧空间及上述一对盖体的状态, 并且,可于轴方向使该一对盖体锁紧固定在上述磁 效伸缩构件上的螺栓,于该螺栓形成有上述通道。 12.如申请专利范围第4项至第9项任一项所述之压 力感测器,其中,在上述大致为圆筒形状的磁效伸 缩构件的杨氏模数为3106 (N/cm2),该磁效伸缩构件 所承受来自于上述流体的压力为980 (Pa)时,上述磁 效伸缩构件半径方向的厚度是为0.05 (mm)-5 (mm)。 13.如申请专利范围第10项所述之压力感测器,其中, 在上述大致为圆筒形状的磁效伸缩构件的杨氏模 数为3106 (N/cm2),该磁效伸缩构件所承受来自于上 述流体的压力为980 (Pa)时,上述磁效伸缩构件半径 方向的厚度是为0.05 (mm)-5 (mm)。 14.如申请专利范围第11项所述之压力感测器,其中, 在上述大致为圆筒形状的磁效伸缩构件的杨氏模 数为3106 (N/cm2),该磁效伸缩构件所承受来自于上 述流体的压力为980 (Pa)时,上述磁效伸缩构件半径 方向的厚度是为0.05 (mm)-5 (mm)。 15.如申请专利范围第1项至第9项任一项所述之压 力感测器,其中,更具备有能够对上述磁效伸缩构 件轴方向外加偏移磁场的偏移磁石。 16.如申请专利范围第10项所述之压力感测器,其中, 更具备有能够对上述磁效伸缩构件轴方向外加偏 移磁场的偏移磁石。 17.如申请专利范围第11项所述之压力感测器,其中, 更具备有能够对上述磁效伸缩构件轴方向外加偏 移磁场的偏移磁石。 18.如申请专利范围第12项所述之压力感测器,其中, 更具备有能够对上述磁效伸缩构件轴方向外加偏 移磁场的偏移磁石。 19.如申请专利范围第1项至第9项任一项所述之压 力感测器,其中,设有可对上述磁效伸缩构件轴方 向施加压缩预压的预压构件。 20.如申请专利范围第10项所述之压力感测器,其中, 设有可对上述磁效伸缩构件轴方向施加压缩预压 的预压构件。 21.如申请专利范围第11项所述之压力感测器,其中, 设有可对上述磁效伸缩构件轴方向施加压缩预压 的预压构件。 22.如申请专利范围第12项所述之压力感测器,其中, 设有可对上述磁效伸缩构件轴方向施加压缩预压 的预压构件。 23.如申请专利范围第15项所述之压力感测器,其中, 设有可对上述磁效伸缩构件轴方向施加压缩预压 的预压构件。 24.如申请专利范围第1项至第9项任一项所述之压 力感测器,其中,上述磁效伸缩构件,是由以超磁效 伸缩元件为材料的超磁效伸缩构件所构成。 25.如申请专利范围第10项所述之压力感测器,其中, 上述磁效伸缩构件,是由以超磁效伸缩元件为材料 的超磁效伸缩构件所构成。 26.如申请专利范围第11项所述之压力感测器,其中, 上述磁效伸缩构件,是由以超磁效伸缩元件为材料 的超磁效伸缩构件所构成。 27.如申请专利范围第12项所述之压力感测器,其中, 上述磁效伸缩构件,是由以超磁效伸缩元件为材料 的超磁效伸缩构件所构成。 28.如申请专利范围第15项所述之压力感测器,其中, 上述磁效伸缩构件,是由以超磁效伸缩元件为材料 的超磁效伸缩构件所构成。 图式简单说明: 第1图为表示本发明实施形态例相关的压力感测器 侧剖面模式图。 第2图为表示本发明实施形态其他例相关的压力感 测器侧剖面模式图。 第3图为表示采用霍尔元件为检测手段的压力感测 器侧剖面模式图。 第4图为表示采用磁阻效果元件为检测手段的压力 感测器侧剖面模式图。 第5图为习知的压力感测器侧剖面模式图。
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