摘要 |
【物品用途】本创作系一种研磨用垫片之新式样设计,为圆形薄片形体,通常安装于制造半导体晶圆片之特殊研磨机具上使用。【创作特点】从各视图观之,主要特征为:本创作系扁薄之圆形体,系由白色研磨本体、双面胶及剥离纸所构成,其平面上具有多数细浅、等距之同心圆浅沟槽,并于圆心以外的位置,另有一个细小之蛋形透明窗部,且透明窗部内之同心圆条凹槽成半透明状,而底面则没有明显之区块线;再者,本创作呈圆形薄片状,该创新之设计,为本创作之特点。研磨本体:约直径800mm、厚度2.8mm双面胶:约直径800mm、厚度110μm剥离纸:约直径800mm、厚度130μm |