发明名称 研磨用垫片
摘要 【物品用途】本创作系一种研磨用垫片之新式样设计,为圆形薄片形体,通常安装于制造半导体晶圆片之特殊研磨机具上使用。【创作特点】从各视图观之,主要特征为:本创作系扁薄之圆形体,系由白色研磨本体、双面胶及剥离纸所构成,其平面上具有多数细浅、等距之同心圆浅沟槽,并于圆心以外的位置,另有一个细小之蛋形透明窗部,且透明窗部内之同心圆条凹槽成半透明状,而底面则没有明显之区块线;再者,本创作呈圆形薄片状,该创新之设计,为本创作之特点。研磨本体:约直径800mm、厚度2.8mm双面胶:约直径800mm、厚度110μm剥离纸:约直径800mm、厚度130μm
申请公布号 TWD111896 申请公布日期 2006.07.21
申请号 TW094301565U01 申请日期 2005.03.23
申请人 JSR股份有限公司 发明人 宫内裕之;志保浩司
分类号 主分类号
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.后视图、左侧视图、右侧视图与前视图相同。 2.薄片形体,立体图省略。
地址 日本