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发明名称 ION IMPLANTER, AND ANGLE MEASUREMENT APPARATUS AND BEAM DIVERGENCE MEASUREMENT APPARATUS FOR ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR20060083878(A) 申请公布日期 2006.07.21
申请号 KR20060004060 申请日期 2006.01.13
申请人 NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. 发明人 YAMASHITA TAKATOSHI
分类号 H01J37/30;H01J37/21 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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