| 发明名称 |
ZIRCONIUM KLOMPLEX FÜR DIE CVD-METHODE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN DÜNNEN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60305929(D1) |
申请公布日期 |
2006.07.20 |
| 申请号 |
DE20036005929 |
申请日期 |
2003.07.18 |
| 申请人 |
SAES GETTERS S.P.A., LAINATE;TOSHIMA MFG. CO. LTD., HIGASHIMATSUYAMA |
发明人 |
KOJI, YODA;YUZO, TASAKI |
| 分类号 |
C07C49/92;C23C16/18;C07F7/00;C23C16/00;C23C16/06;C23C16/40 |
主分类号 |
C07C49/92 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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