发明名称 促动器、液滴排放头、墨盒、喷墨记录装置、微泵、光调制装置和基板
摘要 一种促动器包括通过静电力移动的振动板区域,和经过振动板区域中的第一空间彼此面对的电极。该第一空间通过使用牺牲层去除孔的牺牲层法形成。用作流体阻力的屏障形成在第一空间和位于牺牲层去除孔附近的第二空间之间。
申请公布号 CN1805853A 申请公布日期 2006.07.19
申请号 CN200580000521.6 申请日期 2005.03.11
申请人 株式会社理光 发明人 黑田隆彦;阿部修也
分类号 B41J2/045(2006.01);B41J2/055(2006.01);B41J2/16(2006.01);B81B3/00(2006.01);G02B26/08(2006.01) 主分类号 B41J2/045(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 王冉;王景刚
主权项 1.一种促动器,包括:通过静电力移动的振动板区域;及在振动板区域中经第一空间彼此面对的电极;其中,第一空间通过使用牺牲层去除孔由牺牲层法形成;及用作流体阻力的屏障形成在第一空间和位于牺牲层去除孔附近的第二空间之间。
地址 日本东京都