具有硅指状触点的接触结构和使用其的总叠层结构

摘要

一种用于和接触目标建立电连接的接触结构，具有改善的接触性能，包括频率带宽、接触节距、可靠性和成本。接触结构由多个设置在接触衬底上的指状触点组成，每个触点包括一个有斜面支撑部分的硅基底，一个在硅基底上形成并从斜面支撑凸出的绝缘层，和一个由导电材料在绝缘层上形成的导电层，以便由绝缘层和导电层产生一柱部分，其中当柱部分的顶端压向接触目标时，该柱部分显示一个在其横向上的弹性力以建立一个接触力。一个粘接剂被用于将触点粘接到接触衬底的表面。

主权项

1.一种用于和接触目标建立电连接的接触结构，包括：多个触点，每个有一个接触柱，当所述触点的顶端被压向接触目标时，它呈现一弹力，每个所述触点包括：一个硅基底，有至少一个斜面部分用于在预定方向设置触点；一个绝缘层，自所述硅基底延伸出来；和一个导电层，由导电材料在绝缘层上形成，因此由绝缘层和导电层产生所述接触柱，所述绝缘层在所述导电层和所述硅基底之间电绝缘；一个接触衬底，用于设置所述多个触点，所述接触衬底有一个平面，用于以一种方式在其上粘接所述硅基底以建立所述预定方向；一种粘接剂，用于粘接所述多个触点到所述接触衬底的所述平面上；和在所述接触衬底上提供多条迹线，分别连接到所述触点去建立信号通路用于和外部设备电连接。