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发明名称
High Frequency Antenna and Apparatus for ICP-Chemical Vapor Deposition Using its
摘要
申请公布号
KR100601558(B1)
申请公布日期
2006.07.19
申请号
KR20040028751
申请日期
2004.04.26
申请人
发明人
分类号
C23C16/513
主分类号
C23C16/513
代理机构
代理人
主权项
地址
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