具抗反射涂层之镜射装置及其制造方法

摘要

本发明系关于一种具抗反射涂层之镜射装置之制造方法，包括下列步骤：(a)形成一具抗反射之金属薄膜于一镜射材料之一第一表面，以组成一镜射装置；(b)由该镜射装置，界定复数个镜射单元，每一镜射单元具有一镜射层及一具抗反射之金属薄膜单元，该具抗反射之金属薄膜单元系形成于该镜射层之一第一表面上；及(c)由该具抗反射之金属薄膜单元，界定一抗反射涂层，该抗反射涂层系形成于该镜射层之该第一表面之边缘上。本发明之该镜射装置系于该镜射层上具有该抗反射涂层，可挡住因边缘效应所产生之亮带区域，以将边缘效应造成之不良影响降至最低。在制程上，本发明之方法系以半导体制程制作，精确度高且制程简单。