用于乾燥盘状基材的装置与方法

摘要

本发明揭露一用于乾燥一盘状基材之部件，其包含：用于固持单一盘状基材之构件，用于供应冲洗液体至盘状基材表面上之构件，用于产生一气剂之构件及用于供应该气剂至盘状基材表面上之构件。尚且揭露一用于乾燥一盘状基材之方法，其包含以下步骤：提供单一盘状基材，将冲洗液体施加至盘状基材表面，将一气剂施加至盘状基材表面上，其中气剂包含一身为散布相之乾燥液体及一身为连续相之惰性气体。液体的至少一部分系在气剂供应期间出现于盘状基材上且气剂滴粒凝结于液体表面上。