光罩与应用其形成多晶矽层之方法

摘要

一种光罩及应用其形成多晶矽层的方法。其中光罩包括一第一区域、一第二区域、一第三区域及一第四区域。第一区域具有数个第一条状不透光区及数个第一条状间隙，第一条状间隙系与第一条状不透光区平行且交错排列。第二区域具有数个第二条状不透光区及数个第二条状间隙，第二条状间隙系与第二条状不透光区平行且交错排列，第二条状间隙系与第一条状间隙平行。第三区域系位于第一区域及第二区域之间，并具有数个第三条状不透光区及数个第三条状间隙。第三条状间隙系与第三条状不透光区平行且交错排列，第三条状间隙系与第一条状间隙垂直或相对倾斜一角度。第四区域系位于第二区域及第三区域之间，并具有数个第四条状不透光区及数个第四条状间隙。第四条状间隙系与第四条状不透光区平行且交错排列，第四条状间隙系与第三条状间隙平行。形成多晶矽层之方法包括，在一基板上形成一非晶矽层。接着，利用光罩进行连续侧向长晶。