| 摘要 |
一例示性MEMS干涉式调变器之实施例包括藉由一气隙隔开之一可移动层与一固定层。一驱动方案使用列／行激励协定，该列／行激励协定使施加至MEMS干涉式调变器之电压保持高于或低于将MEMS干涉式调变器置于一「磁滞窗口」或「稳定窗口」内所需之电压范围。藉由选择可最佳化干涉式调变器之激励及释放时间之机械设计特性，可实现MEMS干涉式调变器之稳定运行。某些会影响释放时间及激励时间之特性包括改变支柱间距、改变可移动层之内应力或张力、改变可移动层之厚度或组成、改变系链之笨重性、将可移动层穿孔及在固定层中设置通路。 |
