发明名称 ZUSAMMENSETZUNGEN ZUR REINIGUNG UND ENTFERNUNG VON ORGANISCHEN SOWIE PLASMAÄTZRÜCKSTÄNDEN AUF HALBLEITERVORRICHTUNGEN
摘要
申请公布号 AT331020(T) 申请公布日期 2006.07.15
申请号 AT20000932008T 申请日期 2000.05.02
申请人 EKC TECHNOLOGY, INC. 发明人 SMALL, ROBERT, J.;CHENG, JUN;MAW, TAISHIH
分类号 C11D7/10;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/43;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;G03F7/42;(IPC1-7):C11D11/00 主分类号 C11D7/10
代理机构 代理人
主权项
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