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发明名称 Siliziumhalbleitersubstrat und Vefahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE60209064(T2) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 DE20026009064T 申请日期 2002.08.08
申请人 SILTRONIC AG 发明人 TACHIKAWA, AKIYOSHI;ISHISAKA, KAZUNORI;IKARI, ATSUSHI
分类号 C30B29/06;H01L21/322;C30B15/00;C30B33/00;H01L21/208;H01L21/324 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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