发明名称 用于n型Ⅲ族氮化物半导体的n型欧姆电极、具有该电极的半导体发光器件及用于形成n型欧姆电极的方法
摘要 本发明提供了一种适于n型III族氮化物半导体的n型欧姆电极的结构,及其用于提供低的接触电阻率的形成方法。提供的n型欧姆电极在与n型III族氮化物半导体的结界面处包括铝和镧的合金或包括镧。所述方法包括在300℃或更低温度下形成镧铝合金层,以在所述结界面处形成富镧的n型欧姆电极。
申请公布号 CN1802728A 申请公布日期 2006.07.12
申请号 CN200480015692.1 申请日期 2004.07.16
申请人 昭和电工株式会社 发明人 宇田川隆
分类号 H01L21/28(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L21/338(2006.01);H01L29/812(2006.01) 主分类号 H01L21/28(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 杨晓光;李峥
主权项 1.一种与n型III族氮化物半导体一起使用的n型欧姆电极,所述n型欧姆电极与n型III族氮化物半导体层的表面接触,其中所述n型欧姆电极层由铝(原子符号:Al)和镧(原子符号:La)的合金形成,或者包括镧。
地址 日本东京都