发明名称 |
用于n型Ⅲ族氮化物半导体的n型欧姆电极、具有该电极的半导体发光器件及用于形成n型欧姆电极的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种适于n型III族氮化物半导体的n型欧姆电极的结构,及其用于提供低的接触电阻率的形成方法。提供的n型欧姆电极在与n型III族氮化物半导体的结界面处包括铝和镧的合金或包括镧。所述方法包括在300℃或更低温度下形成镧铝合金层,以在所述结界面处形成富镧的n型欧姆电极。 |
申请公布号 |
CN1802728A |
申请公布日期 |
2006.07.12 |
申请号 |
CN200480015692.1 |
申请日期 |
2004.07.16 |
申请人 |
昭和电工株式会社 |
发明人 |
宇田川隆 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L21/338(2006.01);H01L29/812(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01) |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
杨晓光;李峥 |
主权项 |
1.一种与n型III族氮化物半导体一起使用的n型欧姆电极,所述n型欧姆电极与n型III族氮化物半导体层的表面接触,其中所述n型欧姆电极层由铝(原子符号:Al)和镧(原子符号:La)的合金形成,或者包括镧。 |
地址 |
日本东京都 |