| 主权项 |
1.一种固体摄像装置,其特征在于具备: 复数之受光部,其系于半导体基板表面排列成行列 状,将入射光转换成信号电荷者; 垂直传输通道,其系于上述半导体基板表面沿着上 述受光部所构成之各行,分别延伸于一方向者; 垂直传输电极组,其系排列设置于上述垂直传输通 道上,以经由上述垂直传输通道传输上述信号电荷 之方式,分别控制上述垂直传输通道中对应部分之 电位者; 排列于行方向之上述受光部彼此间分别以像素分 离区域分离; 上述垂直传输通道至少具备第一部分及第二部分, 相较于上述第一部分之宽度,上述第二部分之宽度 宽,上述第一部分系于列方向与上述受光部并排, 上述第二部分系于列方向与上述像素分离区域并 排。 2.如请求项1之固体摄像装置,其中 上述垂直传输通道之宽度至少于上述第二部分与 对于该第二部分相邻于传输方向下游侧之第一部 分之间,连续或阶段地变化; 在于上述第二部分与相对于该第二部分相邻于传 输方向下游侧之第一部分之间,上述垂直传输通道 之宽度连续地变化之迁移区域上,存在上述垂直传 输通道上相邻之2个垂直传输电极之间之边界部。 3.如请求项1之固体摄像装置,其中 上述垂直传输通道之上述第二部分之宽度系相对 于上述第一部分仅于单侧扩大。 4.如请求项1之固体摄像装置,其中 上述第二部分面向1个垂直传输电极; 上述第一部分面向复数垂直传输电极; 上述第二部分之长度系比上述第一部分中对应于 各1个垂直传输电极之部分之长度短。 图式简单说明: 图1系表示作为本发明之固体摄像装置之一实施型 态之循序扫描型之2次元影像感测器之平面布局图 。 图2A系表示垂直传输通道之图;图2B系表示于垂直 传输通道之宽度广之第二部分与对于该第二部分 相邻之第一部分之间所产生之电位障壁之图 。 图3系表示上述2次元影像感测器之垂直传输电极 之图。 图4为图3之A-A'线箭视剖面图。 图5系表示施加于上述2次元影像感测器之垂直传 输电极之4相时钟脉冲V1、V2、V3、V4之时 序图。 图6A、图6B分别表示图5中之时序t1、t2之垂直传输 通道之电位分布之图。 图7系表示上述2次元影像感测器之变形例之平面 布局图。 图8系表示上述2次元影像感测器之变形例之垂直 传输通道图。 图9系表示先前技术之2次元影像感测器之概略平 面布局图。 图10系表示上述先前技术之2次元影像感测器之垂 直传输电极图。 图11A、11B系说明使传输闸极区域变窄时之问题点 之图。 |
