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发明名称 SUBSTRATE WASHING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR100598993(B1) 申请公布日期 2006.07.07
申请号 KR19990000113 申请日期 1999.01.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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