| 发明名称 | 测量掩模设计图形的线宽的方法与系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种测量一掩模设计图形的线宽的方法与系统。该方法包含有：建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。 | ||
| 申请公布号 | CN1797730A | 申请公布日期 | 2006.07.05 |
| 申请号 | CN200410082022.3 | 申请日期 | 2004.12.22 |
| 申请人 | 盟图科技股份有限公司 | 发明人 | 何明丰;陈华人 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);H01L21/027(2006.01);G03F1/00(2006.01);G06F17/50(2006.01);G01B7/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 王志森;黄小临 |
| 主权项 | 1.一种测量一掩模设计图形的线宽的方法，其包含有：建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||