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发明名称 APPARATUS FOR SENSING VIBRATION OF SUPPORT CYLINDER
摘要
申请公布号 KR20060075602(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040114411 申请日期 2004.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, SUNG WON
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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