发明名称 METHOD FOR FORMING FINE PATTERNS
摘要
申请公布号 KR20060075938(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040115315 申请日期 2004.12.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 BAE, JAE JUN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址