发明名称 Procédé d'application des pellicules de bioxyde de silicium sur des surfaces de supports solides
摘要
申请公布号 FR1519067(A) 申请公布日期 1968.03.29
申请号 FR19670101767 申请日期 1967.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 C03C17/245;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/316 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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