| 发明名称 |
Substrate processing unit |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG122742(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.29 |
| 申请号 |
SG20010004981 |
申请日期 |
2001.08.17 |
| 申请人 |
S.E.S. COMPANY LIMITED |
发明人 |
OGASAWARA KAZUHISA;NAKATSUKASA KATSUYOSHI;SHOUMORI HIROFUMI;OTOKUNI KENJI;WATANABE KAZUTOSHI;TAKAHASHI HIROKI |
| 分类号 |
B08B3/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/77 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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