一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法

摘要

本发明涉及一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法。所述的点样装置的主体部分是PZT薄膜驱动器和生物微喷阵列芯片；PZT薄膜驱动器是由PZT薄膜驱动层和氧化锆缓冲层组成，生物微喷阵列芯片上集成制作了微进样孔、微管道、微贮液池和微喷嘴。生物样品在微管道的表面张力下可直接从微进样孔经过微管道进入微贮液池和微喷嘴，由于表面张力和重力的平衡作用它会悬挂在微喷嘴口；在微喷嘴背面的PZT压电薄膜所产生的形变驱动下，液体会被挤压出来；被挤压出来的液体会接触到喷嘴下方的生化反应芯片表面，从而留下了样品点。可以根据需要涉及不同的微喷嘴图形，快速得到不同样品微阵列；可根据需要控制不同电极之间的电压可得到微阵列。

主权项

1.一种生物微喷阵列点样装置，其特征在于所述的装置是由四层部件组成：最上面一层是玻璃层，第二层是刻蚀有微进样孔、微贮液池和微管道的硅片，第三层是刻蚀有微喷嘴的硅片以及第四层生化反应芯片；在微贮液池的上方有PZT厚膜的驱动器；所述的PZT厚膜驱动器是由PZT厚膜驱动器和氧化锆缓冲层组成。