| 主权项 |
1.一种晶圆除尘机,包括有: 置入移出旋转装置,具有一基座,其下侧设置一旋 转座,该基座上侧设置一推拉承载座及推拉承载板 ,于推拉承载板上设置数个晶圆吸盘; 固定座,相邻于置入移出旋转装置设置,于固定座 侧边设置上、下转动一百八十度的座体,座体上设 置晶圆置放转盘,该晶圆置放转盘上设置晶圆置放 槽及凹槽; 座体两侧分别设置活塞杆,活塞杆侧边设置转盘卡 笋,转盘卡笋由晶圆置放转盘的下侧再由侧边朝上 延伸至晶圆置放转盘上部两侧分别设置夹片; 风刀装置,设置于座体与晶圆置放转盘下侧,风刀 装置包括吹气头,吹气头上设置数个吹气口。 2.如申请专利范围第1项所述之晶圆除尘机,其中于 推拉承载板端部设有数侦测器。 3.如申请专利范围第1项所述之晶圆除尘机,其中于 风刀装置进一步包括于吹气头的下侧设置内部具 螺纹的第一移动座,该第一移动座可以被第一马达 于驱动第一螺杆后移动其位置,第一螺杆与第一移 动座的外部设置一外框; 第二移动座,其上侧与外框连接,第二移动座内部 具螺纹,其可供第二螺杆穿设,该第二螺杆可以被 第二马达所驱动。 4.如申请专利范围第1、2或3项所述之晶圆除尘机, 其中之夹片系呈弧形。 图式简单说明: 第一图系本创作之立体外观图。 第二图系本创作之立体外观动作(一)图。 第三图系本创作之立体外观动作(二)图。 第四图系本创作之立体外观动作(三)图。 第五图系本创作之立体外观动作(四)图。 第六图系本创作之立体外观动作(五)图。 第七图系本创作之立体外观动作(六)图。 第八图系本创作之立体外观动作(七)图。 |
