发明名称 | 为室门提供浮动密封的方法和装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种方法,它包括使密封表面与室的室壁隔离,并且在密封表面和室壁之间将室密封。本发明还提供一种装置,其包括易于偏移挠曲的室壁部分,提供密封表面的固定部分,和连接到室壁部分和固定部分的柔性膜盒。本发明还提供一种系统,其包括:室,该室包括具有开口的室壁;配置用于密封开口的门;相邻于开口并与室壁隔离的密封表面;密封表面和室壁之间的密封。 | ||
申请公布号 | CN1789485A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
申请号 | CN200510106737.2 | 申请日期 | 2005.08.02 |
申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | B·C·梁;D·E·博克斯特瑞瑟;S·库利塔 |
分类号 | C23C14/56(2006.01);C23C16/54(2006.01);F16J15/02(2006.01) | 主分类号 | C23C14/56(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 马洪 |
主权项 | 1、一种方法,包括:将一密封表面与一室的室壁隔离;并且在密封表面和室壁之间将室密封。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |