摘要 |
即使在多层结构之半导体叠层微型组件中,藉由抑制从半导体元件的发热来抑制叠层基板的发热。本发明之半导体叠层微型组件(1),系搭载了半导体元件(2)之第1树脂基板(3)和薄膜部件(5)交替叠层之半导体叠层微型组件,包括设置在上述薄膜部件(5)中最上层之上的,比第1树脂基板(3)及薄膜部件(5)放热性高的刚性板(8),和贯通第1树脂基板(3)及薄膜部件(5),与刚性板(8)接触贯通式埋入的第3埋入导体(14)。由此,可以将半导体元件(2)的发热,藉由第3埋入导体(14)和刚性板(8)发散到外部。 |