产光酸聚合物、其制法及包括它之顶部抗反射涂布组成物

摘要

本发明揭示一种由下式1表示之产光酸聚合物：094120955-p01.bmp其中R1为C1–10烃或其中氢原子全部地或部份地经氟原子取代之C1–10烃；R2为氢或甲基；及a、b、c、与d表示各单体之莫耳比例且为约0.05至约0.9之范围，使得a、b、c、与d之和等于1。因为式1之产光酸聚合物不为水溶性且作为光酸产生剂，其可用于制备用于浸渍微影术之顶部抗反射涂布组成物。