| 发明名称 |
System zur Inspektion eines scheibenförmigen Objekts |
| 摘要 |
Es ist ein System (100, 200, 300) zur Inspektion eines scheibenförmigen Objekts offenbart. Das System (100, 200, 300) umfasst eine Ladeeinheit für scheibenförmige Objekte (4) und eine Einrichtung (1) zum gleichzeitigen Aufnehmen der Vorder- und Rückseite des scheibenförmigen Objekts (4).
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| 申请公布号 |
DE102004058128(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.08 |
| 申请号 |
DE200410058128 |
申请日期 |
2004.12.02 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS JENA GMBH |
发明人 |
IFFLAND, THOMAS;WIENECKE, JOACHIM |
| 分类号 |
G01N21/95;H01L21/66;H01L21/68 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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