| 发明名称 |
MICROLITHOGRAPHY METHOD USING A MASK WITH CURVED SURFACE AND MASK THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1664926(A2) |
申请公布日期 |
2006.06.07 |
| 申请号 |
EP20040816132 |
申请日期 |
2004.09.15 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
GUIBERT, JEAN-CHARLES |
| 分类号 |
B29C59/04;G03F7/00;G03F7/24;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
B29C59/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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