| 主权项 |
1.一种窗型探针,其特征为至少具有在与电浆相对 之面之至少一部分设有开口部之导电性支撑构件, 以及在设置于上述导电性支撑构件之开口部之单 侧表面具有探针电极之电介质构件,藉由上述探针 电极来检测上述电介质构件所感应之壁电位之变 动。 2.如申请专利范围第1项之窗型探针,其中上述探针 电极连接有阻抗匹配手段。 3.如申请专利范围第1项之窗型探针,其中上述电介 质构件是光学上透明的玻璃所形成。 4.如申请专利范围第3项之窗型探针,其中上述探针 电极是光学上透明的导电性物质所形成。 5.如申请专利范围第1项之窗型探针,其中设置于上 述导电性支撑构件之开口部具有观测窗的功能。 6.一种电浆监控装置,是使用第1项所记载之窗型探 针,其特征为在上述窗型探针之输出端具有计量电 压波形之电压波形计测部。 7.如申请专利范围第6项之电浆监控装置,其中具备 处理监控机构,用于检测由上述电压波形计测部所 检测出来的电压波形的周期性波形之变化之不和 谐量以检测电浆之稳定性。 8.如申请专利范围第6项之电浆监控装置,其中具备 异常放电监控机构,其系依据由上述电压波形计测 部所检测之电压波形之变化检测电浆的异常放电 。 9.一种电浆处理装置,其特征为具备第6项所记载之 电浆监控装置。 10.如申请专利范围第9项之电浆处理装置,其中设 有上述开口部之导电性支撑构件是构成反应容器 的观测窗之凸缘部,上述电介质构件是密封凸缘部 之透明玻璃板。 图式简单说明: 图1为本发明的构造原理之说明图。 图2为本发明的第1实施形态之附有窗型探针之电 浆处理装置之概略构造图。 图3为使用于本发明之第1实施形态之窗型探针之 概略构造图。 图4为在RF放电时窗型探针之检测波形之说明图。 图5为在RF放电下输入电力变动时之窗型探针的检 测波形之说明图。 图6为在RF放电下由于装置异常而立刻切断RF电源 时之窗型探针的检测波形之说明图。 图7为利用本发明的第1实施形态之窗型探针处理 检测波形之方法之说明图。 图8为本发明的第2实施形态之附有异常放电监控 装置之电浆处理装置之概略构造图。 图9为本发明的第2实施形态中之DC放电中异常放电 时之窗型探针的检测波形之说明图。 图10为本发明的第2实施形态中之RF放电之异常放 电时之窗型探针的检测波形之说明图。 图11为本发明的第3实施形态之附有异常放电监控 装置之电浆处理装置的概略构造图。 图12为本发明的第3实施形态中异常放电检测方法 之说明图。 图13为本发明的第4实施形态之窗型探针之概略构 造图。 |
