| 主权项 |
1.一种摇摆电镀装置,包括: 一容槽,其系用以容装电解液; 至少一阴极结构,其系浸渍在容槽内,该阴极结构 系供装置镀件; 至少一阳极结构,其系浸渍在容槽内,该阳极结构 系供容装原料金属; 一第一驱动装置,其系用以驱动阴极结构在第一方 向往复移动;以及 一第二驱动装置,其系用以驱动第一驱动装置在第 二方向往复移动。 2.如申请专利范围第1项之电镀装置,其中,该第一 驱动装置及第二驱动装置系同时动作,使该阴极结 构在第一方向与第二方向之组合方向移动。 3.如申请专利范围第1项之电镀装置,其中,该第一 驱动装置与第二驱动装置其中之一单独动作,使该 阴极结构在第一方向及第二方向其中之一单向动 作。 4.如申请专利范围第1项之电镀装置,其中,该第一 驱动装置进一步包括一动力机构、偏心机构及框 体,该动力机构经由偏心机构使该框体在第一方向 往复位移。 5.如申请专利范围第4项之电镀装置,其中,该动力 机构系包括一马达及传动轴。 6.如申请专利范围第4项之电镀装置,其中,该偏心 机构系包括一偏心凸轮及连杆。 7.如申请专利范围第4项之电镀装置,其中,该框体 系包括至少二个设在其底部的滑动件。 8.如申请专利范围第5、6或7项之电镀装置,其中,该 马达连接传动轴,而该传动轴上装设前述之偏心凸 轮,又该连杆之一端偏心枢设在偏心凸轮上,而该 连杆的另一端枢设在框体侧边,俾使该框体藉由连 杆带动,并藉由其下方的滑动件而在第一方向往复 位移。 9.如申请专利范围第1项之电镀装置,其中,该第二 驱动装置进一步包括一动力机构、偏心机构及框 体,该动力机构经由偏心机构使该框体在第二方向 往复位移。 10.如申请专利范围第9项之电镀装置,其中,该动力 机构系包括一马达、复数个传动轴及至少二个减 速机。 11.如申请专利范围第9项之电镀装置,其中,该偏心 机构系包括一偏心凸轮及凸轮从动件,而该偏心凸 轮系用以带动凸轮从动件。 12.如申请专利范围第9项之电镀装置,其中,该框体 系包括至少二个设在其底部的滑动件。 13.如申请专利范围第10、11或12项之电镀装置,其中 ,该马达连接传动轴,且该传动轴经由减速机带动 另一传动轴,而在该传动轴上装设前述之偏心凸轮 ,又该凸轮从动件系装设在框体下方,使该偏心凸 轮带动框体在第二方向往复位移。 14.如申请专利范围第1项之电镀装置,其中,该镀件 系为一电路板,于该电路板上具有通孔及盲孔。 15.如申请专利范围第1项之电镀装置,其中,该镀件 系为一电路板,于该电路板上具有通孔及盲孔其中 之一者。 16.一种摇摆电镀装置,包括: 一容槽,其系用以容装电解液; 至少一阴极结构,其系浸渍在容槽内,该阴极结构 系供装置镀件; 至少一阳极结构,其系浸渍在容槽内,该阳极结构 系供容装原料金属; 一第一驱动装置,其系用以驱动阴极结构在第一方 向往复移动; 一第二驱动装置,其系用以驱动第一驱动装置在第 二方向往复移动;以及 控制单元,其用以控制第一、第二驱动装置之动作 模式。 17.如申请专利范围第16项之电镀装置,其中,该控制 单元用以控制第一驱动装置及第二驱动装置同时 动作,使该阴极结构在第一方向与第二方向的组合 路径上移动。 18.如申请专利范围第16项之电镀装置,其中,该控制 单元用以控制第一驱动装置与第二驱动装置其中 之一单独动作,使该阴极结构在第一方向及第二方 向其中之一单向动作。 19.如申请专利范围第16项之电镀装置,其中,该第一 驱动装置进一步包括一动力机构、偏心机构及框 体,该动力机构经由偏心机构使该框体在第一方向 往复位移。 20.如申请专利范围第19项之电镀装置,其中,该动力 机构系包括一马达及传动轴。 21.如申请专利范围第19项之电镀装置,其中,该偏心 机构系包括一偏心凸轮及连杆。 22.如申请专利范围第19项之电镀装置,其中,该框体 系包括至少二个设在其底部的滑动件。 23.如申请专利范围第20、21或22项之电镀装置,其中 ,该马达连接传动轴,而该传动轴上装设前述之偏 心凸轮,又该连杆之一端偏心枢设在偏心凸轮上, 而该连杆的另一端枢设在框体侧边,俾使该框体藉 由连杆带动,并藉由其下方的滑动件而在第一方向 往复位移。 24.如申请专利范围第16项之电镀装置,其中,该第二 驱动装置进一步包括一动力机构、偏心机构及框 体,该动力机构经由偏心机构使该框体在第二方向 往复位移。 25.如申请专利范围第24项之电镀装置,其中,该动力 机构系包括一马达、复数个传动轴及至少二个减 速机。 26.如申请专利范围第24项之电镀装置,其中,该偏心 机构系包括一偏心凸轮及凸轮从动件,而该偏心凸 轮系用以带动凸轮从动件。 27.如申请专利范围第24项之电镀装置,其中,该框体 系包括至少二个设在其底部的滑动件。 28.如申请专利范围第25、26或27项之电镀装置,其中 ,该马达连接传动轴,且该传动轴经由减速机带动 另一传动轴,而在该传动轴上装设前述之偏心凸轮 ,又该凸轮从动件系装设在框体下方,使该偏心凸 轮带动框体在第二方向往复位移。 29.如申请专利范围第16项之电镀装置,其中,该镀件 系为一电路板,于该电路板上具有通孔及盲孔。 30.如申请专利范围第16项之电镀装置,其中,该镀件 系为一电路板,于该电路板上具有通孔及盲孔其中 之一者。 31.一种摇摆电镀方法,系包括: 提供一用以容装电解液的容槽; 至少一浸渍在容槽内的阴极结构,系供装置镀件; 至少一浸渍在容槽内的阳极结构,系供容装原料金 属; 一用以驱动阴极结构的第一驱动装置,使该阴极结 构在第一方向往复移动;以及 一用以驱动第一驱动装置的第二驱动装置,使该第 一驱动机构在第二方向往复移动,进而使阴极结构 伺步在第二方向移动。 32.如申请专利范围第31项之方法,其中,该阴极结构 藉由第一驱动装置及第二驱动装置以在第一方向 与第二方向的上移动。 33.如申请专利范围第31项之方法,其中,该阴极结构 藉由第一驱动装置及第二驱动装置其中之一带动, 俾使该阴极结构在第一方向及第二方向其中之一 方向上移动。 34.如申请专利范围第31项之方法,其中,该镀件系为 一电路板,于该电路板上具有通孔及盲孔。 35.如申请专利范围第31项之方法,其中,该镀件系为 一电路板,于该电路板上具有通孔及盲孔其中之一 者。 图式简单说明: 第1A图系为本发明之摇摆电镀装置及其方法的上 视示意图; 第1B图系为本发明之摇摆电镀装置及其方法的侧 视示意图; 第1C图系为本发明之摇摆电镀装置及其方法的偏 心机构局部示意图; 第2图系为本发明之摇摆电镀装置及其方法的立体 示意图; 第3图系为本发明之摇摆电镀装置及其方法的镀件 移动方式上视示意图; 第4图系为本发明之摇摆电镀装置及其方法的方块 示意图; 第5A图系为习知电镀装置之镀件垂直阳极钛篮之 电极面往复移动的上视示意图; 第5B图系为习知电镀装置之镀件平行阳极钛篮之 电极面往复移动的上视示意图; 第6A图系为美国专利第6,746,590号的上视示意图; 第6B图系为美国专利第6,746,590号的超音波移动侧 视示意图;以及 第6C图系为美国专利第6,746,590号的阴极局部示意 图。 |
