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发明名称 CERIA SLURRY FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR20060056519(A) 申请公布日期 2006.05.25
申请号 KR20040095634 申请日期 2004.11.22
申请人 K.C.TECH CO., LTD.;HANYANG HAK WON CO., LTD. 发明人 KIM, DAE HYUNG;HONG, SEOK MIN;JEON, JAE HYUN;KIM, YONG KUK;PARK, JEA GUN;PAIK, UN GYU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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