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发明名称 Substrate Processing Unit and Processing Method
摘要
申请公布号 KR100583134(B1) 申请公布日期 2006.05.24
申请号 KR20000067623 申请日期 2000.11.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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