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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung oder Reinigung eines Substrats
摘要
申请公布号 DE69635035(T2) 申请公布日期 2006.05.24
申请号 DE19966035035T 申请日期 1996.03.22
申请人 USINOR, PUTEAUX 发明人 VANDEN BRANDE, PIERRE
分类号 H01J37/34;H05H1/46;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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