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发明名称 Inductively coupled plasma processing apparatus
摘要
申请公布号 KR100581858(B1) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20020080834 申请日期 2002.12.17
申请人 发明人
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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