发明名称 SLURRY FOR POLISHING AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100584007(B1) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20040118158 申请日期 2004.12.31
申请人 K.C.TECH CO., LTD.;HANYANG HAK WON CO., LTD. 发明人 KIM, DAE HYUNG;HONG, SEOK MIN;KIM, YONG KUK;PARK, JEA GUN;PAIK, UN GYU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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