| 发明名称 |
PELLICLE FRAME AND PELLICLE FOR PHOTOLITHOGRAPHY USING THIS FRAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060049569(A) |
申请公布日期 |
2006.05.19 |
| 申请号 |
KR20050049693 |
申请日期 |
2005.06.10 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
SEKIHARA KAZUTOSHI |
| 分类号 |
B65D85/86;G03F1/64;H01L21/027 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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